Sulfonyloximy pro fotoresisty s vysokou citlivostí a tloušťkou určené pro expozici v oblasti i-čáry rtuti
Kompozice aktivovatelná světlem, jejíž podstata spočívá v tom, že obsahuje alespoň jednu sloučeninu, která může být zesíťována působením kyseliny nebo/a alespoň jednu sloučeninu, jejíž rozpustnost se mění působením kyseliny, a jako fotoiniciátor alespoň jednu sloučeninu generující kyselinu, zvláště sulfonovou kyselinu, při … full description
Saved in:
Bibliographic Details
- Main Author
- Other Authors
- , , ,
- Document Type
- Patents and utility models Patent applications
- Physical Description
- 1 přihláška vynálezu
- Published
-
Praha :
Úřad průmyslového vlastnictví,
2000
- Subjects
- Item Description
- Číslo dokumentu: 1999-2912
Datum zveřejnění přihlášky: 15. 3. 2000
Datum přihlášení: 16. 8. 1999 - International Patent Classification
- G03F 7/004
G03F 7/039
G03G 5/026
Institution:

Destination | Accessibility | Link | Link source |
---|---|---|---|
Web | Available | Fulltext | Industrial Property Office |