Sulfonyloximy pro fotoresisty s vysokou citlivostí a tloušťkou určené pro expozici v oblasti i-čáry rtuti

Get it

Kompozice aktivovatelná světlem, jejíž podstata spočívá v tom, že obsahuje alespoň jednu sloučeninu, která může být zesíťována působením kyseliny nebo/a alespoň jednu sloučeninu, jejíž rozpustnost se mění působením kyseliny, a jako fotoiniciátor alespoň jednu sloučeninu generující kyselinu, zvláště sulfonovou kyselinu, při full description

Saved in:

Bibliographic Details

Main Author
Toshikage Asakura
Other Authors
Hartmut Bleier, Christoph De Leo, Jan Kubát, CIBA SPECIALTY CHEMICALS HOLDING INC.
Document Type
Patents and utility models Patent applications
Physical Description
1 přihláška vynálezu
Published
Praha : Úřad průmyslového vlastnictví, 2000
Subjects
Item Description
Číslo dokumentu: 1999-2912
Datum zveřejnění přihlášky: 15. 3. 2000
Datum přihlášení: 16. 8. 1999
International Patent Classification
G03F 7/004
G03F 7/039
G03G 5/026

Institution:


Destination Accessibility Link Link source
Web Available Fulltext Industrial Property Office